国度常识产权局信息炫夸，朗姆盘考公司肯求一项名为“在流毒填充膜蚀刻时刻具有收敛和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，肯求日历为2024年11月。

专利摘录炫夸，本文公开触及执行具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在执行流毒填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种纪律，真钱牛牛APP2026世界杯中国官方下载其包括执行多个PEALD轮回以将膜千里积到流毒中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入处分室，以将膜前体吸附到流毒内的名义上，王者荣耀下注平台2026最新版官方app下载然后清扫该室。PEALD轮回还包括在转动程序中，使用包含响应物和收敛剂的气体搀和物造成等离子体，以将衬底炫夸于收敛剂并将膜前体转动成流毒内的膜。PEALD轮回还包括在转动程序之后的钝化程序中，将衬底炫夸于包含钝化剂的等离子体以从流毒中的名义去除至少一些收敛剂。

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